用自准直仪丈量平面度差错时，是将自准直仪置于被测零件以外的基座上，将反射镜安放在桥板上，并将桥板置于被测外表上。丈量时，应先把自准直仪与被测外表调整到大致平行。然后用丈量直线度差错的办法，按米字布线，先测出对角线上各测点的读数，再测出另一条对角线上各测点和其他截面上各测点的读数，并将这些读数换算成线值。
依据测得的读数（线值），运用两条对角线的交点来断定契合对角线规律的抱负平面，再按此抱负平面求解平面度差错值。必要时再进一步按最小条件求解差错值。此办法可用不丈量大平面的平面度。
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