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用平晶丈量平面度差错时应怎么鉴定?

作者:  时间:2020/11/25 15:55:44

应用光学平晶丈量小平面,丈量时将平晶贴于被测外表上,若被测外表内凹或外凸,就会呈现环形干与带,依据环形干与带数与光波的半波长的乘积来表明平面度差错。
        假如干与条纹不关闭,可使光学平晶与被测外表间稍微歪斜一个角度,使两者之间构成一空气楔。这种按干与带的弯曲度与相邻两干与带之间的比值,再乘以半波长即得差错值。不过,按此法鉴定的差错实践上是以直线度差错替代了平面度差错。
        曩昔用平晶只能测小平面。这些年有了平晶干与仪,应用这种仪器也能够运用平晶干与法来丈量较大的平面。